シリーズ 23SY-Ei-UHP

23SY-Ei-UHPシリーズの圧力トランスミッタは、半導体製造における超高純度用途向けに設計されています。関連するSEMI規格に準拠して製造されており、完全溶接・電解研磨仕上げの構造で、内部シールが不要なため、汚染のリスクを最小限に抑えます。 堅牢なステンレス鋼製構造により、過酷なガス供給システムにおいても優れた長期安定性と信頼性の高い性能が保証されます。

半導体ガス供給システムおよびプロセスシステム内のゾーン0 危険区域での使用に適しています。